3结果与讨论


3.1激光参数对铜微电极导电性能的影响


激光参数的变化对铜微电极导电性能有很大影响。激光功率、扫描速率等参数的变化将会引起辐照区域激光能量密度的变化，从而影响铜离子的还原与连接，使铜微电极呈现不同的导电性。


3.1.1激光功率对导电性能的影响


控制飞秒激光的扫描速度为3mm/s,离焦量为6cm,改变激光功率，分别取456,503,640,880,980,1210,1580mW,探究激光功率对铜微电极导电性能的影响。图2（a）为铜微电极平均线宽随激光功率变化的曲线，可见：随着功率增大，微电极线宽逐渐从457μm增加至1440μm.功率越大，相同时间内前驱体吸收的能量越多，发生还原的铜离子增多，得到的铜纳米颗粒越多。激光能量密度在光斑范围内具有高斯分布现象，表现为光斑边缘处的能量密度较低，而光斑中心处的能量较高。当激光光斑直径恒定时，随着激光功率增大，光斑边缘的能量密度变大，烧结成线的区域扩大，从而导致所得图案线宽增加。图2（b）为所制备的铜微电极方阻随激光功率变化的曲线图，可以看出：在较低的功率下（不大于640mW），所制备的微电极的方阻较大（MΩ